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  • 截止2021年10月全球MEMS传感器行业技术构成

    截止2021年10月全球MEMS传感器行业技术构成

    发布时间:2024-10-27

    从技术构成来看,目前“微观结构系统[2006.01]”的专利申请数量最多,为928项,占总申请量的7.66%。其次是“在基片内或其上制造或处理的装置或系统(B81C3/00优先)〔7〕[2006.01]”,专利申请量为836项,占总申请量的6.90%。