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主流镀膜方式对比——PVD、RPD、ALD
发布时间：2024-10-28
从三种镀膜技术对比来看，PVD为目前较成熟的镀膜技术，具有沉积速率快、成本较低的优势，但该技术制备的薄膜均匀性相对较差;采用RPD制备电子传输层可以减少制作过程中对下方钙钛矿层的影响，但设备成本高于PVD;ALD工艺的优势则在于大面积成膜的均匀性，且致密、无针孔。
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发布时间：2024-10-28
从三种镀膜技术对比来看，PVD为目前较成熟的镀膜技术，具有沉积速率快、成本较低的优势，但该技术制备的薄膜均匀性相对较差;采用RPD制备电子传输层可以减少制作过程中对下方钙钛矿层的影响，但设备成本高于PVD;ALD工艺的优势则在于大面积成膜的均匀性，且致密、无针孔。
2023-12-27
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