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截止2021年10月3M创新有限公司V.S.应用材料股份有限公司真空镀膜机专利技术TOP5
发布时间：2024-10-27
目前，“使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备(由在一个公共衬底中或其上形成的多个组件组成的器件入H01L27/28;使用有机材料的热电器件入H01L35/00,H01L37/00;使用有机材料的压电、电致伸缩或磁致伸缩元件入H01L41/00)〔6，8〕[2006.01]”为3M创新有限公司的第一大真空镀膜机技术细分分布领域，专利申请量为22项;“使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;“用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备〔3，2012.01〕”为应用材料股份有限公司的第一大真空镀膜机技术细分分布领域，专利申请量为29项。两者其它重点细分真空镀膜机技术布局情况如下：
