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MEMS传感器按工作原理分类
发布时间：2024-10-27
MEMS传感器即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems)，属于在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿新兴研究领域。MEMS传感器的门类品种繁多，按其工作原理，可大致分为物理型、化学型和生物型三类。而在每一类别中，又可分为多个小类。不同的MEMS传感器被用来测量不同的量，其结构特点也不尽相同。
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发布时间：2024-10-27
MEMS传感器即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems)，属于在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿新兴研究领域。MEMS传感器的门类品种繁多，按其工作原理，可大致分为物理型、化学型和生物型三类。而在每一类别中，又可分为多个小类。不同的MEMS传感器被用来测量不同的量，其结构特点也不尽相同。
2019-12-31
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2019-01-17
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2019-01-11
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