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发布时间：2024-10-27
在多晶硅料出厂价震荡下行的情况下，生产企业如果想获得更高的利润那么就只能从节约成本的角度出发。目前多晶硅制备主要采用改良西门子法，具体工艺流程是通过在沸腾炉内合成制备三氯氢硅（生成的三氯氢硅含量85%，同时副产物还包括四氯化硅和杂质氯化物），通过利用各种氯化物的挥发性差别，精馏制备得到高纯三氯氢硅。最后将高纯三氯氢硅和高纯氢气按照一定比例导入钟罩型的还原炉内，在1100℃的硅芯发热体上还原沉积得到多晶硅棒。还原尾气通过回收分离，将四氯化硅通过冷氢化制备得到三氯氢硅，再次进入系统循环。
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