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三类典型硅微机械压力传感器结构图
发布时间：2024-10-27
一般来讲，大部分MEMS压力传感器的敏感元件是硅膜片，按照不同的敏感机理，MEMS压力传感器可以分为电容式压力传感器、压阻式压力传感器以及谐振式压力传感器。目前汽车上的压力传感器有很多：歧管压力测量，用来控制空燃比，控制废弃循环等;大气压测量，用来修正空燃比;气缸内气测量，用来控制爆震;燃油喷射压力测量;充气压力测量，安全气囊系统;轮胎气压，轮胎气压的监控等。
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发布时间：2024-10-27
一般来讲，大部分MEMS压力传感器的敏感元件是硅膜片，按照不同的敏感机理，MEMS压力传感器可以分为电容式压力传感器、压阻式压力传感器以及谐振式压力传感器。目前汽车上的压力传感器有很多：歧管压力测量，用来控制空燃比，控制废弃循环等;大气压测量，用来修正空燃比;气缸内气测量，用来控制爆震;燃油喷射压力测量;充气压力测量，安全气囊系统;轮胎气压，轮胎气压的监控等。
2021-10-28
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2019-01-17