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MEMS惯性传感器类型
发布时间:2024-10-27
MEMS惯性传感器是以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础,在单晶硅片上制造出来的微机电系统,包括加速度计(或加速度传感器)和角速度传感器(陀螺)以及它们的单、双、三轴组合IMU(惯性测量单元),AHRS(包括磁传感器的姿态参考系统)。简单来讲,MEMS惯性传感器主要是指MEMS加速度计和MEMS陀螺仪,它们均由一颗MEMS芯片和一颗ASIC芯片组成,两颗芯片封装一起构成了陀螺仪或加速度计。MEMS惯性传感器的类型如下:
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发布时间:2024-10-27
MEMS惯性传感器是以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础,在单晶硅片上制造出来的微机电系统,包括加速度计(或加速度传感器)和角速度传感器(陀螺)以及它们的单、双、三轴组合IMU(惯性测量单元),AHRS(包括磁传感器的姿态参考系统)。简单来讲,MEMS惯性传感器主要是指MEMS加速度计和MEMS陀螺仪,它们均由一颗MEMS芯片和一颗ASIC芯片组成,两颗芯片封装一起构成了陀螺仪或加速度计。MEMS惯性传感器的类型如下:
2021-11-10
2021-11-10
2021-11-10
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2019-01-17
2019-01-11
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