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关于银合金靶材的专利分析总结
发布时间：2025-07-11
国内银合金靶材技术发展较晚，企业和高校多处于初期研发阶段。福建阿石创、深圳拓普新材和洛阳四丰电子等企业正积极研发，通过添加In、Sc等元素和优化制备工艺，提高银合金靶材的性能。近年来，随着中国半导体集成电路厂家的长期投入，使银合金靶材也在不断创新发展。
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发布时间：2025-07-11
国内银合金靶材技术发展较晚，企业和高校多处于初期研发阶段。福建阿石创、深圳拓普新材和洛阳四丰电子等企业正积极研发，通过添加In、Sc等元素和优化制备工艺，提高银合金靶材的性能。近年来，随着中国半导体集成电路厂家的长期投入，使银合金靶材也在不断创新发展。
2025-07-11
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2025-07-11
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2019-01-03
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2019-01-02
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2019-01-02
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