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分子泵在下游中的主要应用

发布时间：2024-10-27

分子泵主要在前级泵实现启动压强后才进行抽气，与低真空泵配合进行使用，应用于表面物理和质谱类科研仪器，离子注入和刻蚀等半导体前道工艺装备，ITO、AR、AF和Low-E等工业过程，空间环境模拟、高能物理、低温超导等领域。

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