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半导体晶圆搬运设备行业相关概念辨析
发布时间：2024-10-27
狭义来说，半导体晶圆搬运设备只指单一半导体自动搬运机器，广义来说半导体搬运设备应当为半导体自动物料搬运系统。半导体晶圆搬运设备经常会与半导体自动物料搬运系统(AMHS)混淆，详细概念辨析情况如下：
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发布时间：2024-10-27
狭义来说，半导体晶圆搬运设备只指单一半导体自动搬运机器，广义来说半导体搬运设备应当为半导体自动物料搬运系统。半导体晶圆搬运设备经常会与半导体自动物料搬运系统(AMHS)混淆，详细概念辨析情况如下：
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