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半导体晶圆厂不同空间布局大致占比
发布时间：2024-10-27
在半导体晶圆厂生产中，光刻和蚀刻占据半导体晶圆厂生产较大区域，通常分别占比23%和20%。AMHS系统布局虽然只占5%，但其是每个晶圆厂生产建设必不可少的重要领域。
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发布时间：2024-10-27
在半导体晶圆厂生产中，光刻和蚀刻占据半导体晶圆厂生产较大区域，通常分别占比23%和20%。AMHS系统布局虽然只占5%，但其是每个晶圆厂生产建设必不可少的重要领域。
2022-08-08
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2019-01-28
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2019-01-26
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