我国刻蚀设备行业政策规划解读

从政策环境上来看，我国对于刻蚀设备行业较为重视。其主要表现在对于整个IC产业链企业的政策优待以及对于半导体设备行业的相关规划与推动。如《“十三五”国家科技创新规划》中明确提出，要攻克14nm刻蚀设备及核心零部件的制造;《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目(02专项)也引进了产业投资，扶植了刻蚀设备相关的产业。