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刻蚀技术分类
发布时间：2024-10-27
根据刻蚀方法，干法刻蚀可以分为物理性刻蚀、反应离子刻蚀和化学性刻蚀;根据被刻蚀的材料类型则可分为介质刻蚀、金属刻蚀和硅刻蚀。
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发布时间：2024-10-27
根据刻蚀方法，干法刻蚀可以分为物理性刻蚀、反应离子刻蚀和化学性刻蚀;根据被刻蚀的材料类型则可分为介质刻蚀、金属刻蚀和硅刻蚀。
2020-08-13
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2019-01-24