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离子注入机分类
发布时间：2024-10-27
根据离子束电流和束流能量范围，一般可以把离子注入机分为低能大束流离子注入机、高能离子注入机和中低束离子注入机。这些离子注入机的运行原理基本莱斯，但是注入计量范围和具体在工艺中的主要应用各有不同，其具体如下：
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发布时间：2024-10-27
根据离子束电流和束流能量范围，一般可以把离子注入机分为低能大束流离子注入机、高能离子注入机和中低束离子注入机。这些离子注入机的运行原理基本莱斯，但是注入计量范围和具体在工艺中的主要应用各有不同，其具体如下：
2020-08-14
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2019-01-24