我国离子注入机行业政策规划解读

从政策环境上来看，我国对于离子注入机行业较为重视。其主要表现在将离子注入机在多项政策中列为推荐发展的关键设备。如《国家集成电路产业发展推荐纲要》中明确提出，要离子注入机作为关键设备进行研发。;《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录》(2019年版)也将中束流、大束流、高能离子注入机等离子注入机列入了名录。