碳化硅(SiC)的制造流程 - 前瞻产业研究院

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碳化硅(SiC)的制造流程

发布时间：2024-10-28

关于Si衬底的外延方法，即使用化学气相沉积，获得SiC单晶体沉底或掺杂后的半导体结构。

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