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CVD流程简析
发布时间:2024-10-27
近年来,CVD工艺不断发展,形成了较为固定的工艺流程,同时也根据不同的应用演化出了APCVD、LPCVD、PECVD等不同的CVD技术。一般来说,不同的CVD技术需要不同的CVD设备来承载,一定程度上也促进了CVD设备制造工艺的发展。
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发布时间:2024-10-27
近年来,CVD工艺不断发展,形成了较为固定的工艺流程,同时也根据不同的应用演化出了APCVD、LPCVD、PECVD等不同的CVD技术。一般来说,不同的CVD技术需要不同的CVD设备来承载,一定程度上也促进了CVD设备制造工艺的发展。