搜索

  • 我国CVD行业政策规划解读

    我国CVD行业政策规划解读

    发布时间:2024-10-27

    从政策环境上来看,我国对于CVD设备较为重视,其主要体现在相关政策对于发展半导体设备的支持。如《“十三五”国家科技创新规划》中,薄膜设备(PVD设备、CVD设备等)被列为国家需要攻克的高端制造装备;《中国制造2025》中也提到,要形成集成电路关键制造设备的供货能力。