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    我国PVD行业政策规划解读

    发布时间:2024-10-27

    从政策环境上来看,我国对于PVD设备较为重视,其主要体现在相关政策对于发展半导体设备的支持。如《“十三五”国家科技创新规划》中,薄膜设备(PVD设备、CVD设备等)被列为国家需要攻克的高端制造装备;《国家高新技术产业开发区“十三五”规划》中也提到,要推进集成电路关键装备的关键核心技术突破与应用。