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PVD设备产业链示意图

发布时间：2024-10-27

PVD设备则是PVD技术的载体，其主要由泵、溅射装置、真空测量和检漏系统组成。

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相关报告：《2022-2027年中国半导体产业战略规划和企业战略咨询报告》

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