我国CMP设备行业政策规划解读

我国政策对于CMP设备行业的推动主要体现在对半导体设备行业的相关规划和促进上。例如在《中国制造2025》中明确提出，要形成包括CMP设备在内集成电路关键制造设备的供货能力;《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2019年版)》中也将双面化学机械研磨设备、硅片单面抛光机、铜化学机械抛光设备等CMP设备列入了其中，可见我国对于发展CMP设备的支持力度。