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CMP工艺演变历程
发布时间：2024-10-27
近年来，CMP技术从Planar Logic发展到3D FinFET，从2D NAND发展到3D NAND。随着CMP工艺的演变，CMP步骤(循环次数)也在逐渐加多。其产物的表面也越来越精细。
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发布时间：2024-10-27
近年来，CMP技术从Planar Logic发展到3D FinFET，从2D NAND发展到3D NAND。随着CMP工艺的演变，CMP步骤(循环次数)也在逐渐加多。其产物的表面也越来越精细。
2020-08-19
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2019-01-24