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发布时间：2024-10-27
多晶硅制备由1865年美国杜邦公司发明的锌还原法拉开序幕，1930-1959年，四氯化硅氢还原法（贝尔法）、三氯氢硅热分解法（倍西内法）、硅烷热分解法与改良西门子法相继出现。其中由德国瓦克公司在西门子法基础上形成的改良西门子法仍为当今多晶硅企业主要制备工艺。美国联合碳化物公司（UCC）于1981额年成功开发出流化床法多晶硅生产工艺，并于1987年由美国乙基公司实现首次工业化生产。多晶硅制备需要较为庞大的资金购买设备，技术水平要求较高，因此进入门槛较大。
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