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多晶硅制备新技术研究进展
发布时间:2024-10-27
目前多种提升多晶硅制备效率的新技术正在研发进程中,其中由日本德山研发的气液沉积法(VLD)是目前最具有应用化前景的技术之一。日本德山在马来西亚的6000MT/年的VLD法多晶硅装置与2013年建成,但因产品质量问题未实现规模化生产。区域熔化提纯法根据熔化的晶体在再结晶过程中因杂质在固相和液相中的浓度不同而达到提纯的目的,REC公司已于2006年在新工厂开始使用该方法。另外,碳热还原反应法、铝热还原法尚处于实验室阶段,较短时间内不具备产业化前景。







