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发布时间：2024-10-27
随着面板世代线增加不断增大，对掩膜板精度、分辨率、平坦度和精度提出更高的要求。在高世代TFT领域，国内配套掩膜板还是一片空白。AMOLED、Gray-tone、Half-tone掩膜板等，同样依赖进口。国内能够配套G8.5以下TFT用掩膜板的企业只有路维光电和清溢光电。半导体领域，除英特尔、三星、台积电三家全球最先进的晶圆制造厂所用的掩膜板自供外，其它的掩膜板主要被美国Photronics、日本DNP以及日本Toppan三家公司所垄断。国内少数企业如无锡华润、无锡中微等，只能制造0.13μm以上Stepper Mask。与此同时，掩膜板基材及其石英基板、光刻胶、光学膜等关材料同样被国外企业垄断;随着未来技术要求的提升，对掩膜板的要求越来越高，也对掩膜板的关键原材提出了更高的要求。
2020-07-28
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