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中国光刻掩膜板企业竞争格局
发布时间：2024-10-27
我国掩膜板制造主要集中在少数企业和部分科研院所。面板领域，国内能够配套TFT(薄膜晶体管)用掩膜板的企业只有路维光电和清溢光电，主要针对8.5代以下掩膜板;半导体领域，少数企业如无锡华润、无锡中微等，只能制造0.13μm以上StepperMask;对于HTM(半透膜)、GTM(灰阶掩模板)、PSM(先进相移掩模)等掩模板，我国主要依赖进口。
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发布时间：2024-10-27
我国掩膜板制造主要集中在少数企业和部分科研院所。面板领域，国内能够配套TFT(薄膜晶体管)用掩膜板的企业只有路维光电和清溢光电，主要针对8.5代以下掩膜板;半导体领域，少数企业如无锡华润、无锡中微等，只能制造0.13μm以上StepperMask;对于HTM(半透膜)、GTM(灰阶掩模板)、PSM(先进相移掩模)等掩模板，我国主要依赖进口。
2020-07-28
2020-07-28
2020-07-28
2020-07-28
2019-01-16
2019-01-14
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