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光刻掩膜板分类及应用
发布时间：2024-10-27
掩膜板产品的原材料和中间材料为玻璃基板、镀铬膜层、光刻胶、光学膜等，其中主要原材料为玻璃基板，按材质可以分为石英基板和苏打基板，石英基板使用石英玻璃作为材料，光学透过率高，热膨胀率低，相比苏打玻璃更为平整和耐磨，使用寿命长，主要用于高精度掩膜板。由于石英玻璃的优良特性，未来其在掩膜板产品中的应用会更加广泛。
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发布时间：2024-10-27
掩膜板产品的原材料和中间材料为玻璃基板、镀铬膜层、光刻胶、光学膜等，其中主要原材料为玻璃基板，按材质可以分为石英基板和苏打基板，石英基板使用石英玻璃作为材料，光学透过率高，热膨胀率低，相比苏打玻璃更为平整和耐磨，使用寿命长，主要用于高精度掩膜板。由于石英玻璃的优良特性，未来其在掩膜板产品中的应用会更加广泛。
2020-07-28
2020-07-28
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2019-01-14
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