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荷兰ASML-EUV光刻机发展历程
发布时间：2024-10-27
当前，全球仅有荷兰-ASML公司可生产EUV光刻机，该公司于1997年加入了有英特尔和美国能源部牵头组建的EUVLLC前沿技术组织，享受EUVLLC的研究成果大大加快了ASML的EUV研发速度;2010年，公司向一家亚洲芯片制造商的研究机构运送了第一台极紫外(EUV)光刻工具原型(NXE：3100)，标志着光刻新时代的开始;2020年，公司的EUV光刻机进入大批量生产，也为全球唯一一家能量产EUV光刻机的公司。
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发布时间：2024-10-27
当前，全球仅有荷兰-ASML公司可生产EUV光刻机，该公司于1997年加入了有英特尔和美国能源部牵头组建的EUVLLC前沿技术组织，享受EUVLLC的研究成果大大加快了ASML的EUV研发速度;2010年，公司向一家亚洲芯片制造商的研究机构运送了第一台极紫外(EUV)光刻工具原型(NXE：3100)，标志着光刻新时代的开始;2020年，公司的EUV光刻机进入大批量生产，也为全球唯一一家能量产EUV光刻机的公司。
2021-09-24
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