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EUV光刻机结构

发布时间：2024-10-27

同时，从运输成本上来说，EUV光刻机体积十分庞大，一台顶级的EUV光刻机重大180吨，需要40个集装箱来运输，仅安装调试的时间就需要一年左右。

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