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EUV光刻机零部件结构
发布时间：2024-10-27
光刻机是技术壁垒极高的产品，而EUV光刻机制造更是“难上加难”，不仅体现在技术设计方面，还在于零部件供应，一台顶尖的EUV光刻机包含了10万多个零部件，全球供应商超过5000家，从光刻机的结构分析来看，美国光源占27%，荷兰腔体和英国真空占32%，日本材料占27%，德国光学系统占14%。因此，仅从零部件供应来说，光刻机涵盖的产业链就十分庞大。
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发布时间：2024-10-27
光刻机是技术壁垒极高的产品，而EUV光刻机制造更是“难上加难”，不仅体现在技术设计方面，还在于零部件供应，一台顶尖的EUV光刻机包含了10万多个零部件，全球供应商超过5000家，从光刻机的结构分析来看，美国光源占27%，荷兰腔体和英国真空占32%，日本材料占27%，德国光学系统占14%。因此，仅从零部件供应来说，光刻机涵盖的产业链就十分庞大。
2021-09-24
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