荷兰ASML-EUV光刻机发展计划 - 前瞻产业研究院

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荷兰ASML-EUV光刻机发展计划

发布时间：2024-10-27

关于EUV光刻机未来的发展方向，当前ASML正在探寻从0.33向0.55推进，预计首批High-NA设备(0.55NA)将于2022年下半年交付。

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