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    采用微凸块和混合键合方法的垂直分层示意图

    发布时间:2024-11-20

    混合键合(Hybrid Bonding)是一种先进的封装技术,它结合了两种不同的键合技术:介电键合和金属互连。这种技术采用介电材料(通常是氧化硅,SiO?)与嵌入式铜 (Cu) 焊盘结合,允许在硅晶片或芯片之间建立永久电连接,而无需焊料凸块,这种无凸块方法通过减少信号损耗和改善热管理来提高电气性能。考虑到高带宽存储需求持续增长对芯片堆叠层数及密度的提升,未来混合键合有望成为HBM主流堆叠技术。目前海力士正在加速开发新工艺“混合键合”,HBM的DRAM芯片之间通过“微凸块”材料进行连接,通过混合键合,芯片可以在没有凸块的情况下连接,从而显著减小芯片的厚度。